膜厚測量

      薄膜測量系統是專(zhuān)門(mén)針對半導體、材料、生物醫學(xué)薄膜的實(shí)驗室分析及在線(xiàn)監測開(kāi)發(fā)的，用于測量薄膜反射率及膜層厚度的綜合測量系統。該系統基于白光反射及干涉的原理來(lái)確定光學(xué)薄膜的厚度?？梢酝ㄟ^(guò)對白光干涉圖樣進(jìn)行數學(xué)運算來(lái)計算出薄膜厚度。對于單層膜來(lái)說(shuō)，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。

      AvaSoft-Thinfilm軟件內有一個(gè)包含大部分常用材料和膜層的n值和k值的數據庫。TFProbe多層膜測量軟件可以測量多達5層膜的厚度和光學(xué)常數（n、k值），實(shí)現實(shí)時(shí)或在線(xiàn)膜厚和折射率監控。

參數指標：

• 光譜范圍 200~1100nm 測量速度 2 ms minimum

• 膜厚范圍 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

• 分辨率 1nm 測量精度 better than 0.25

  
  

典型應用領(lǐng)域：

• Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半導體制造

• Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶顯示器

• Forensics, Biological films and materials 醫學(xué)、生物薄膜或材料

• Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉

• Pharmaceuticals, Medial Devices 制藥

• Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光學(xué)薄膜

• Semiconductor compounds 半導體化合物

• Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

• Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

      

AvaSoft-Thinfilm應用系統可以搭配多種應用系統附件，例如光纖多路復用器、顯微鏡、過(guò)真空裝置等附件，實(shí)現多點(diǎn)位同時(shí)測量、微區測量、過(guò)程監控等復雜領(lǐng)域的應用。 例如：AvaSoft-Thinfilm應用系統能夠實(shí)時(shí)監控膜層厚度，并且可以與其他AvaSoft應用軟件如XLS輸出到Excel軟件和過(guò)程監控軟件一起使用。